SHPro系列，搭載制冷型面陣CCD探測器，是一款高靈敏度、高信噪比、大動態(tài)范圍的光譜儀，可廣泛用于弱信號光譜檢測技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域。例如半導(dǎo)體領(lǐng)域刻蝕終點檢測、膜厚在線監(jiān)測、拉曼物質(zhì)成分識別等。也可應(yīng)用在生產(chǎn)線及科研實驗室等領(lǐng)域，提供高靈敏度測量功能，在復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境中，該系列具備強(qiáng)大的熱波長穩(wěn)定性，系統(tǒng)熱穩(wěn)定性好。

高靈敏度、高信噪比、大動態(tài)范圍的光譜儀，可廣泛用于弱信號光譜檢測技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域

1、拉曼光譜檢測

2、終點刻蝕光譜檢測